CD-SEM与普通SEM有哪些区别?
行业资讯 admin 发布时间:2024-04-15 浏览:42 次
CD-SEM,全名Critical Dimension Scanning Electron Microscopy,中文翻译过来是:特征尺寸扫描电子显微镜。很多人听说过CD-SEM,第一反应是光刻工序中测量线宽的机台,但是CD-SEM是怎样测线宽呢?除了测线宽还有哪些作用呢?从哪里能买到这类机台呢?CD-SEM与普通的SEM又有哪些区别呢?
为什么要测线宽?线宽也称为特征尺寸,Critical Dimension,CD。在芯片制造中,线宽的精确控制至关重要,它直接影响到芯片的性能和可靠性。
CD-SEM测线宽原理在CD-SEM中,低能量的电子束在样品表面进行精确的扫描,与样品表面的原子相互作用。当电子束与样品相互作用时,样品会发射出二次电子和反射电子。这些电子被检测器收集,并转化为轮廓变化的信号。通过收集的电子信号,形成样品表面形貌的二维图像。基于形成的图像,通过计算测量区域中的像素数自动计算特定的微结构的尺寸,如线宽、孔径等。 CD-SEM与普通SEM的区别虽然两者在技术原理上有很多相似之处,但由于不同的应用侧重点,CD-SEM和普通SEM在实际的配置和使用中存在较大区别。
电子束的能量差异CD-SEM照射样品的一次电子束能量较低,为1keV或以下。这是由于光刻胶或其他微结构很脆弱,降低CD-SEM电子束的能量可以减少电子束照射对样品的损伤,这样有利于晶圆进行下一步工序。